IC Chemicals/Cleaning System

IPA連続比抵抗計『TOR-2000』

一般名称IPA連続比抵抗計
当社製品名TOR-2000
主な用途IPAの比抵抗変化の分析

概要

IPA連続比抵抗計『TOR-2000』

IPAの比抵抗変化をモニタすることによってIPAの品質管理を行う測定器です。

用途

半導体製造におけるウエハ等の洗浄乾燥プロセス管理に使用されております。

特徴

連続比抵抗計TOR-2000は、電子工業用有機溶剤の高度な品質管理と薬液使用量の削減=環境対策を目指して独自に開発した分析機器です。
 
IPA等の有機溶剤の比抵抗をインラインで連続的に測定できることはもちろん、製品の歩留低下の要因となる極微量の不純物(例えば金属イオン、パーティクル、水分等)をモニタリングするため、比抵抗測定レンジを10GΩ・cmまでアップさせた高精度連続比抵抗計です。 (UL認定予定・CEマーキング取得予定)

 ・インラインでの測定が可能です。ライン内の溶剤の純度を比抵抗値として連続測定できます。
  サンプル採取等の操作が不要で、測定者による誤差をなくすことが可能です。
 ・pptレベルの計測が可能です。溶剤中に存在するpptレベルのイオン性不純物の測定が可能です。
 ・測定範囲がワイドです比抵抗値7.5MΩ・cm~750GΩ・cm、温度10~98℃での測定が可能です。
 ・小型軽量ですDIN96 (L96 X W96 X D152 965g)
 ・データ収集用ソフトウェアにより、パソコン画面へリアルタイム表示します
  日常の品質管理、歩留まり向上にご活用頂ける測定データ・アラーム情報をパソコン画面上にリアルタイム
  表示出来ます。データをパソコンに取り込み、薬液の品質を管理することも可能です。
 ・プロセスコントロールに最適です。
  各種インターフェースを装備することで複数台接続でのデータ収集、各種制御装置への接続が可能です。

お問い合わせ

ICケミカル営業部

0834-34-2308

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