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ICケミカル・洗浄システム事業

 

事業紹介

ICケミカル事業主体は、半導体デバイス及びFPD(フラット・パネル・ディスプレイ)向けの高純度薬品を中心とした事業です。

主力製品は電子工業用イソプロピルアルコール“トクソーIPA-SE”とポジ型フォトレジスト用現像液“SDシリーズ”で、世界トップシェアを誇っています。IPA-SEはシリコンウェハの水切り洗浄に、現像液はシリコンウェハや液晶パネルのフォトリソグラフィ工程のレジスト現像に使用されます。
32nmパターンニングなど新たな技術が生まれてくる中で、使用される薬品に対し、高純度化への要求がますます高まりつつあります。当社の高純度薬品は、近年のより厳しい品質への要求に充分対応できるスペックを備えており、製造から供給までの一貫体制と高い品質が評価されています。

特に現像液は液晶市場の急進に伴い、急速に成長しています。当社は液晶の生産拠点であるアジア圏において韓国、シンガポール、台湾、中国に製造・販売拠点を持ち、積極的に展開する体制を整えています。

加えて半導体、液晶向けの高純度薬品リサイクル事業や現像液の用途開拓、新たな材料開発などの新規事業にも積極的に取り組んでまいります。

洗浄システム事業主体は金属洗浄用メチレンクロライド(商品名:メタクレン)を中心とした事業です。メタクレンは金属加工における不燃性の高性能脱脂洗浄剤として長い実績がありますが、環境面からは適正な管理が要求されます。当社では環境・健康・安全を最優先とするEH&S活動を推進し、お客様の立場に立ったサポート体制を取っております。

現像液・IPA SEアジア供給&サポート拠点

SDシリーズによるシャープで均一なエッチング

弊社現像液を利用して回路形成した例です。溝形状の均一性に差が出ています。

SD-1 (37mj/cm2) 0.15μm
他社品
(35mj/cm2)
 
 
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