|
CF-10グループは、研究開発部門の開発センターから独立して、フッ化カルシウム大型単結晶の事業化を進めているプロジェクトです。フッ化カルシウム単結晶は、半導体の製造に用いられる縮小投影露光装置（ステッパー）の次世代レンズ材料として有望視されており、私たちは「フッ化物単結晶」「チョクラルスキー（CZ）法」「大口径」の３つのキーワードで、研究開発テーマ「光と結晶」の事業化に向け、先駆的な役割を担っています。
2002年にプロジェクト活動を開始し、年末には、育成時に無理な応力がかからず均質な結晶が得られるとされるCZ法で世界初となる直径200㎜のフッ化カルシウム単結晶育成に成功し、翌年には直径250㎜の単結晶、さらに2004年には300㎜という大口径の単結晶育成に成功しました。すでに市場化に向け実証プラントを建設して品質・製造技術等の検証作業を開始しており、今後は設備を増強して量産技術の確立を進めていきます。
同時に、次世代のステッパー用レンズ材料としてのフッ化カルシウム単結晶の高品質化に取り組み、さらにフッ化カルシウム以外のフッ化物単結晶として、優れたレーザー耐久性を有するフッ化マグネシウム、立方晶系のフッ化物単結晶で高い屈折率を有するフッ化バリウムリチウムなどの開発も進めています。これらの成果は、化学メーカーが取り組む「光と結晶」事業、トクヤマが保有する高純度化技術、及び分析解析技術などで業界から高く評価され、トクヤマの研究開発力のＰＲにも大きく貢献しています。
|
