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高純度窒化アルミニウム(AlN)
粉末・顆粒

トクヤマの高純度窒化アルミニウム粉末は、優れた熱伝導性、高電気絶縁性、各種半導体に近い熱膨張性などの特性を有し、焼結体原料として最適な素材です。熱を持つことで動作が不安定になる半導体など電子部品の放熱材料として、主に使用されています。この高純度窒化アルミニウム粉末に焼結用助剤を加え、扱いやすく成型した顆粒タイプも用意しています。

トクヤマでは、窒化アルミニウム粉末から、顆粒、粉末を焼結したセラミックス「シェイパル®」など、用途に合わせた製品を展開しています。当社独自開発の製法である還元窒化法は、不純物の極めて少ない良質な製品を生み出し、その製造能力は世界最大の年産840トンを誇ります。窒化アルミニウム粉末では、世界シェア75%を獲得し、リーディングカンパニーとしての地位を築いています。

概要

一般名称 窒化アルミニウム(AlN)粉末・顆粒
化学式 AlN
主な荷姿 ペール缶(10㎏)
用途
  • 半導体製造装置の部材
  • 産業機械のインバーター
  • 電車・自動車のIGBT基板
  • LEDの放熱基板 など

特徴

  • 高純度:金属不純物が極めて少ない高純度微粉末です。酸素含有量も非常に低く、良好な物性を持つ焼結体原料に適しています。
  • シャープな粒度分布:粉末凝集粒子の平均径は約1ミクロンで、シャープな粒度分布を持っています。一次粒子径は約0.6ミクロンで、かつ粒子表面が安定化されているので、従来品に比べて安定性に優れています。分散性に優れ、樹脂のフィラーとして放熱性を向上させる効果が期待できます。
  • 優れた焼結性:極めて優れた焼結性を持っています。ホットプレス、常圧焼結いずれによっても透光性を有する焼結体が得られます。

下記の表は横スクロール可能です

物性 単位 Hグレード Eグレード
比表面積 m2/g 2.6 3.4
平均粒径 μm 1.2 1.0
不純物 O wt% 0.8 0.8
C ppm 280 200
Ca ppm 200 10
Si ppm 25 10
Fe ppm 10 6
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窒化アルミニウムと各種基板材料の性能比較

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