トクヤマのトリクロロシランは、多結晶シリコンの中間原料として生産されているため、半導体用途に使用できる高純度品です。ダイオードなどの個別素子、CCDおよびMOS型ICの基板となるエピタキシャルウエハーやシリコーン樹脂の製造に利用されます。

概要

特徴

• 常温で無色透明、刺激臭のある液体です。密閉されている限りは安定しています。
• 空気中の水分と反応して腐食性のある塩化水素ガスを発生し、シリカを生成します。
• 可燃性があり、空気中で容易に発火します。