トクヤマでは、燃焼法、溶融法、ゾルゲル法など、独自技術を駆使した製法を用いて、様々な粒子径のラインアップを持つシリカおよびシリカチタニア複合酸化物、シリコーン微粒子を製造しています。高純度で無孔質の球状フィラーとして分散性に優れています。

トクヤマのSi系フィラーは、最先端向けを含む半導体用のアンダーフィルなどの封止材、その他にも液状樹脂、精密接着剤、高機能フィルム、セラミックス原料などの幅広い分野で、絶縁性や低線膨張係数、強度、弾性率、低透湿度、屈折率などの特性を調整するための添加剤として活躍しています。