IC Chemicals/Cleaning System

電子工業用高純度薬品『トクソーIPA® SE』

一般名称イソプロピルアルコール
当社製品名トクソーIPA® SE
主な用途ウエハ、電子デバイス等の精密洗浄及び乾燥
主な荷姿キャニスター、ケミドラム、ローリー
化学式CH3CH(OH)CH3
特性 ・99.99%以上の高純度品
・危険物(可燃物)

概要

電子工業用グレードのイソプロピルアルコール(IPA)です。
プロピレンと水を直接反応させる独自の製法により、99.99%以上の高純度を実現しました。
半導体、ガラス基板など電子デバイスの洗浄、乾燥に適しています。

用途

・半導体ウエハ、電子デバイス等の精密洗浄
 ウエハに付着する微細な汚れを除去します。
・半導体ウエハ、電子デバイスの水切り乾燥
 ウエハを洗浄後、水のしみやゴミが付着しないようにIPA-SEの蒸気を利用し乾燥させます。
・剥離液のリンス液
・各種治具、配管の洗浄

特徴

・水、油等の有機物によく混合します
 水切り乾燥用にも使用できますし、製造過程で付着する汚れも取り除くことができます。

・金属成分、パーティクルはごくわずかです
 ウエハを洗浄する場合、金属成分やパーティクルが配線に付着し電気回路を変えてしまう恐れが
 あります。トクソーIPA® SEは不純物を可能な限り除去した高純度品です。

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