Thermal Management Material Business

窒化アルミニウム セラミックス『シェイパル®

一般名称窒化アルミニウム セラミックス
当社製品名シェイパル®
主な用途パワーデバイス、LD、LEDのヒートシンク、半導体製造装置等
化学式AlN
特性高純度、高熱伝導率、高電気絶縁性、高強度、耐食性、透光性、耐ハロゲンプラズマ性、低熱膨張性

概要

シェイパル®
シェイパル®

窒化アルミニウム粉末を焼成したセラミックスです。優れた熱伝導率や高ハロゲンプラズマ耐性、Siに近い熱膨張率などの特性を生かし、放熱性を要する部品や半導体製造装置の部品など多くの用途に用いられています。

グレード

・シェイパル® SH-30
厚み1mm以下の高強度セラミックス
用途:パワーデバイス、LD、LEDのヒートシンク

・シェイパル® SH-15
厚み2mm以上の高熱伝導セラミックス
用途:半導体製造装置用など

・シェイパル® SH-50
厚み2mm以上の高純度セラミックス  (助剤無添加)
用途:半導体製造装置用、金属不純物による装置内の汚染防止など

物性

単位

SH-30

SH-15

SH-50

一般物性

密度

g/㎤

3.34

3.33

3.24

電気的物性

体積抵抗率

Ω・㎝

8.4×1013

1.1×1014

3.1×1013

誘電率

RT,1MHz

 

9.1

9.1

8.9

誘電正接

RT,1MHz

 

2.5×10-4

3.0×10-4

2.6×10-4

絶縁耐圧

kV/mm

36.7

31.3

18.7

熱的物性

熱伝導率

20℃

W/(m・K)

174

184

86

機械的物性

曲げ強度

MPa

511

357

356

お問い合わせ

放熱材営業部

0834-34-2309

ホームページからのお問い合わせ

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