株式会社トクヤマ（東京本部：東京都千代田区、社長 横田 浩）は、台湾の工業技術研究院（Industrial Technology Research Institute、以下はITRI、本部：台湾新竹県、院長：劉文雄)との間で、次世代半導体薬液のリアルタイム品質計測技術に関する共同開発を開始しましたのでお知らせします。

トクヤマは、徳山製造所（山口県周南市）や台湾などで、半導体の製造工程で用いられる電子工業用高純度薬品（半導体薬液）を製造販売するアジアNO.1メーカーで、2018年には、半導体産業の集積地である台湾に研究所を開設し、ITRIとの技術交流を進めてきました。

本共同開発は、微細化が進む次世代半導体をターゲットに、製造プロセスで使用する半導体薬液中の不純物を迅速に検出し、ウエハを汚染から守り、半導体の製造歩留まり率を向上させることを狙いとします。ITRIが保有するアドバンストセミコンダクターナノ粒子リアルタイム検出技術を応用し、新たに計測装置を共同で開発、半導体製造プロセス中での薬液の品質制御技術を確立させるものです。

５Ｇ、ＤＸ等デジタル革命が進む中、半導体の高度化・微細化は一段と加速すると見込まれ、製造工程における歩留まり改善は、将来的に半導体業界が乗り越えなければならない大きな課題です。トクヤマとITRIは、業界での技術の蓄積と経験をもとに、協力関係を継続させていくことで、半導体産業の成長と拡大に貢献してまいります。

※工業技術研究院（ITRI）とは
ITRIは、台湾の産業技術研究開発機構。30年以上にわたり測定技術の開発に関わっており、台湾の経済部標準検験局から「国家計量標準実験室（National Measurement Laboratory R.O.C.）」の運営を委託されています。

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