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窒化アルミニウム（AlN）
フィラー
窒化アルミニウムは高い熱伝導性と絶縁性を併せ持つ無機材料です。シリコン半導体と同程度の熱膨張係数を持ち、半導体製造プロセスで使用されるハロゲンガスプラズマに対する耐性があります。その特性を生かして、パワー半導体や高出力LED用絶縁放熱基板、シリコンウエハー前工程で使用される半導体製造装置用の部材に用いられています。従来の放熱フィラーに比べて約9倍の熱伝導性を持つことから、樹脂の熱伝導率を向上させる高放熱フィラーとして期待されています。
概要 ※一部開発品
| 一般名称 | 窒化アルミニウム（AlN）フィラー |
|---|---|
| 化学式 | AlN |
| 主な荷姿 | ペール缶（10㎏） |
| 用途 | 放熱フィラーなど |
特徴
- 充実した粒径ラインアップ
- 高充填・高熱伝導率の達成
- 粗粒低減（トップカット）
- 樹脂密着性・高信頼性
- コンパウンド性能の向上
物性表
※数値は代表値であり、保証値ではありません
HF-01D
HF-20
HFS-80
