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高純度溶融球状シリカ
「エクセリカ®

エクセリカ®は、気相反応で製造される粒子径が数~数十ミクロンの高純度合成溶融球状シリカです。各種用途に合わせて、粗粒カットグレードも取り揃えています。

概要

一般名称 高純度溶融球状シリカ
当社製品名 エクセリカ®
化学式 SiO2
主な荷姿 紙袋、フレコン
用途
  • 半導体封止材
  • 基板穴埋め剤
  • ダイボンディング材
  • 精密接着剤
  • 石英部材
  • フィルム

特徴

  • 高純度:高度に精製された原料を用いて、クローズド系で製造しているため、放射性元素、重金属元素およびイオン性元素などの不純物量が非常に少ないシリカです。特に半導体メモリーの誤作動要因となるα線を放出するウランやトリウムの含有量は、0.1ppb以下です。

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